多重循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱通過送風(fēng)管道，通過ULPA過濾器和HEPA過濾器，將空氣送入潔凈室，在潔凈度等級為10級和1級的潔凈室的天花板上，這些過濾器通常復(fù)蓋100%。垂直單向氣流向下通過清潔室，通過帶孔的架空地板磚進(jìn)入地板下面的回風(fēng)空間，通過垂直回風(fēng)夾道向上進(jìn)入天花板回風(fēng)靜壓箱。然后，空氣再次進(jìn)入循環(huán)風(fēng)調(diào)箱，上述空氣循環(huán)再次重復(fù)。如果使用天花板風(fēng)扇過濾器，風(fēng)扇過濾器上的天花板空間可以安裝水或直接更換冷卻[DX-cooled]風(fēng)扇線圈實(shí)現(xiàn)表面冷卻。